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行業(yè)動態(tài)

如何定義無塵室等級

　　無塵室等級如何定義

　　無塵室的等級說明

　　使用者在開無塵室的等級給供貨商時，有以下幾個小技巧。

　　首先是等級定義的模式如下：

　　Class X (at Y μm )

　　其中X是無塵室的等級，例如100或10000等等，Y是粒徑如0.2μm , 0.5μm等，可復(fù)選。意思就是使用者規(guī)定，該無塵室微粒含量，在這些粒徑必須滿足該等級的限度。這樣可以減少紛爭，以下是幾個例子：

　　Class1 (0.1μm, 0.2μm , 0.5μm)

　　Class 100(0.2μm , 0.5μm )

　　Class 100(0.1μm, 0.2μm , 0.5μm )

　　在Classes 100 (M3.5) and Greater (Class 100，1000，10000....)，一般看一個粒徑即可。在Classes Less than 100 (M3.5) (Class 10，1.... )，一般要看多幾個粒徑。

　　第二個技巧是規(guī)定無塵室的狀態(tài)，例如：

　　Class X (at Y μm )，At-rest

　　供貨商就很清楚知道無塵室要在At-rest狀態(tài)下驗收。

　　第三個技巧是自訂微粒濃度上限，一般在As-built時無塵室都很干凈，微粒控制能力測試不易，這時可以干脆把驗收上限壓低，例如：

　　Class 10000 (0.3 μm <= 10000)，As-built

　　Class 10000 (0.5 μm <= 1000)，As-built

　　這樣做的目的是確保無塵室在Operational狀態(tài)時，依然有足夠的微粒控制能力。

　　以下兩個表是Fed-Std-209E的等級定義，和ISO-14644的等級定義。

　　Fed-Std-209E潔凈度定義

Class Name		Class Limits
		0.1μm		0.2μm		0.3μm		0.5μm		5μm
		Volume Units		Volume Units		Volume Units		Volume Units		Volume Units
SI	U.S.	(m3)	(ft3)	(m3)	(ft3)	(m3)	(ft3)	(m3)	(ft3)	(m3)	(ft3)
M 1		350	9.91	75.7	2.14	30.9	0.875	10.0	0.283	-	-
M 1.5	1	1,240	35.0	265	7.50	106	3.00	35.3	1.00	-	-
M 2		3,500	99.1	757	21.4	309	8.75	100	2.83	-	-
M 2.5	10	12,400	350	2,650	75.0	1,060	30.0	353	10.0	-	-
M 3		35,000	991	7,570	214	3,090	87.5	1,000	28.3	-	-
M 3.5	100	-	-	26,500	750	10,600	300	3,530	100	-	-
M 4		-	-	75,700	2140	30,900	875	10,000	283	-	-
M 4.5	1,000	-	-	-	-	-	-	35,300	1,000	247	7.00
M 5		-	-	-	-	-	-	100,000	2,830	618	17.5
M 5.5	10,000	-	-	-	-	-	-	353,000	10,000	2,470	70.0
M 6		-	-	-	-	-	-	1,000,000	28,300	6,180	175
M 6.5	100,000	-	-	-	-	-	-	3,530,000	100,000	24,700	700
M 7		-	-	-	-	-	-	10,000,000	283,000	61,800	1,750

　　ISO-14644潔凈度定義

ISO classification number(N)	Maximum concentration limits (particles/m3of air) for particles equal to and larger than the considered sizes shown below (concentration limits are calculated in accordance with equation (1).
ISO classification number(N)	0.1mm	0.2mm	0.3mm	0.5mm	1mm	5mm
ISO Class 1	10	2
ISO Class 2	100	24	10	4
ISO Class 3	1 000	237	102	35	8
ISO Class 4	10 000	2 370	1 020	352	83
ISO Class 5	100 000	23 700	10 200	3 520	832	29
ISO Class 6	1 000 000	237 000	102 000	35 200	8 320	293
ISO Class 7				352 000	83 200	2 930
ISO Class 8				3 520 000	832 000	29 300
ISO Class 9				35 200 000	8 320 000	293 000
NOTE Uncertainties related to the measurement process requires that concentration data with no more then three significant figures be used in determining the classification level. Equation (1): Cn = 10NX (0.1/D)2.08其中Cn是微粒濃度，N是潔凈度，D是粒徑

　　比較以上兩表我們可看出

　　209E的公制和英制兩套標準，雖然有公式做互換，但是仍究很難一眼看出其相關(guān)性。兩制放同一表，徒然造成混淆

　　在兩表中0.5mm幾乎出現(xiàn)在每一個等級定義中，表示粒徑0.5mm的粒子非常具有代表性

　　在潔凈度的分類上，不管是在高潔凈度，或是低潔凈度，ISO-14644的范圍比209E都來的廣，因此具有未來性

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